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真空炉泄漏检测的步骤是:
1、在开始任何检测之前,都要确保氦泄漏检测仪经过标定(使用标准漏孔进行检查)且性能正常。向检测仪外壳内部喷入少量气体,以确认检测仪本身没有任何泄漏。另外,也要检查泄漏检测仪与真空炉连接点的泄漏情况。
2、在球阀处于关闭的状态下将泄漏检测仪连接到粗抽管路的端口上。
3、确认扩散泵和粗抽泵的水路已经打开。
4、启动维持泵和粗抽泵。
5、在启动扩散泵前手动打开前级管路,检查其泄漏情况。完成这项检查后要确保关闭前级管路阀。
6、慢慢打开球阀,使氦泄漏检测仪与系统接通。
7、向前级管路和粗抽系统的所有焊缝、螺纹接口和法兰喷吹少量氦气,检查这些部位的泄漏情况。
8、对这项初步检测发现的任何泄漏进行修复。
9、如果发现并修复了任何泄漏,则重复执行步骤5)–7)并再次检查泄漏情况。
10、如果未发现新的泄漏,就关闭泄漏检测仪球阀,启动扩散泵,将其预热45分钟。
11、开始正式检测,将炉室抽真空到水平。
12、如果炉室达不到高真空度,略微打开通往泄漏检测仪的球阀,对炉室、增压泵泵壳、架空管路和真空切换管路上的所有法兰、螺纹接口和焊缝进行检查。对这一步发现的任何泄漏进行修复。
13、现在以较大流量喷吹氦气,对整个系统进行仔细检查。
14、如果未发现新的泄漏,就关闭通往泄漏检测仪的球阀,将检测仪与系统脱开。
15、现在,真空炉应当得到了全面检查,可以为恢复生产作好准备。
16、如果没有发现外部氦气泄漏,但泄漏率测试结果仍然显示炉室的泄漏率较高,还有其他几种可能性:
1)气体通过气体回充阀或分压阀(比如氮气或氩气)进入炉室。拆下这些阀,检查是否有灰尘、密封或膜片是否完好。
2)从气冷式换热器向真空中漏水。将换热器从真空炉上拆下,检查钎焊接合部位是否有水积聚。用空气对换热器加压到大约100磅/平方英寸表压,在所有钎焊部位刷上肥皂水看是否产生气泡。如果有必要,将换热器浸入水槽中,检查是否有气泡冒出。浸没在水中后,换热器在重新安装到真空炉系统中之前必须在加热炉内彻底烘干。这时,要在300˚F下保持4小时,以使任何残余的水分完全蒸发。
17、如果所有这些措施均不见效,则应考虑水从炉室水套漏入真空的可能性。水也可能从其他水套漏入真空,比如增压泵或换热器水套。拆下高温区的所有部件,检查是否有漏水产生的积水痕迹。如果没有发现明显的痕迹,用空气对水套加压到大约30磅/平方英寸表压,在所有焊缝和接合部位刷上肥皂水看是否产生气泡。有时,炉室中心会因出现裂纹甚至腐蚀而产生泄漏。炉室存在的所有泄漏都必须焊接修复和进行检测,不能有任何气泡产生。
18、从换热器、真空室或其他水套漏入真空的水通常会使粗抽泵油变色(泄漏严重时变成乳白色,轻微时略有褪色)。如果漏水严重,炉室将不能抽真空到1托以下。如果炉室或换热器外壳的底部积聚了游离水,它们会逐渐凝结成冰。有时,看上去就像是炉室或换热器箱体的空气侧结了霜。
请记住,氦泄漏检测仪的响应时间只是反映了泄漏的面积,准确的泄漏位置必须通过进一步分析才能确定。同一个区域常常存在着一处以上的泄漏。
如果使用氦泄漏检测仪未发现任何泄漏,这并不意味着肯定没有泄漏。要记住,检测手段是压升率测试。