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对真空炉进行维修后,要进行烘炉、必须对真空炉进行真空检漏。真空炉烘炉前,可用1000V摇表检测真空炉的绝缘,正常不小于2MΩ。真空炉烘炉分三个阶段:①水分排出期O~200℃,是真空炉保温层中的水分和真空炉体中潮气的排出期,必须检查真空炉真空度,同时保温时间较长。②真空炉体放气量大的温度区一般在500℃左右,因真空炉放气量比较大,这时升温不超过50℃/h。保温时间一般在60分钟以上③保温期1200℃左右,加热每升高100~200℃,要进行保温一段时间,升温过快易损坏保温层、真空炉放气不完全。
编制真空炉使用维护操作规程,建立真空炉运行记录和修理档案,统计运行累积工作时间,加强真空炉日常维护,掌握设备技术状态变化趋势,及早发现故障损坏苗头,避免属于事故抢修性质的维修,并根据真空炉工作负荷和运行状况,提前有针对性地准备真空炉修理用零部件,编制真空炉运行维护方案。如真空炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、真空炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关,在每天24小时加工生产的情况下,真空炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次.这取决于钎焊工作的类型和使用次数。真空炉一般在春秋季节泄漏故障较多,长期闲置的真空炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏,真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下,关闭所有真空阀,停止真空系统运转,1Omin后读一个数,1h后再读一个数,两数之差是压升率的数值),掌握设备泄漏变化趋势,如真空设备连续停机一个礼拜,要空运转一次(进行烘炉)。在真空系统检漏时,除临时应急维修用真空泥糊堵外,有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏,如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处,观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板,分段封堵真空管路,进行检漏。找到漏点以后进行维修(一般密封圈老化比较多),定时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油,如发现油遇水乳化,真空下跌,必须更换上面4个泵油,应每周检查一次油位和油的质量。扩散泵油油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。