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ITO靶材常压烧结工艺进展 真空热压炉
真空热压炉由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成。
真空炉是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接
ITO靶材烧结工艺
ITO靶材应用及发展前景 真空热压炉
真空炉即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内部分物质排出,使炉腔内压强小于一个标准大气压,炉腔内空间从而实现真空状态,这就是真空炉。
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工厂:江苏省南通市通州区聚丰科创产业园1号厂房