简要描述：
更新日期：2024-03-14访 问 量：401VHSmo-20/20/30-1700真空钼棒炉
（V2MO17）技术方案书
一、 主要用途
VHSmo-20/20/30-1700真空钼棒炉为气体保护多用途炉，可满足在还原气体或成型气体气氛中对蓝宝石退火，还原、烧结和表面处理等工艺需要，广泛应用于航空航天、金属材料、粉末冶金、陶瓷产品、半导体器件、厚膜电路、磁性材料等领域。
1. 用于晶片的还原气氛下保护烧结；
2. 用于一些难熔金属在还原气氛保护下烧结；
3. 用于在真空高温环境中有蒸发的材料钎焊；
4. 用于粉末材料还原烧结成型；
（设备图示，以实际出货产品为准）
二、 主要特点
1. 具备完善的报警功能，更的安全连锁保护系统；
2. 完善的气氛控制系统，满足各种工艺需要；
3. 高性能优质电气元件保证设备长期运行的稳定可靠性；
4. 低负荷加热器，可有效提高设备的使用寿命；
三、 设备型号
本设备为卧式周期式真空气氛炉，型号为VHSmo-20/20/30-1700（V2MO17），其具体代码含义如下图所示。
四、 主要技术参数
1. 额定加热功率： 9KW(以实际为准)
2. 最高温度： 1700℃（设计温度）
3. 长期工作温度： 1600℃（验收温度）
4. 加热元件： 钼棒
5. 控温精度： 充气时±2℃；稳定时±1℃
6. 炉膛尺寸： 200×200×300mm(宽×高×长)
7. 工作压力： ≤0.1MPa
8. 冷态极限真空度： 6.7X10-1Pa（空炉并经净化）
9. 测温传感器： 钨铼热电偶
10. 冷却方式： 充气自然冷却
11. 保护气氛： 氮气或氩气（可选配氢气氮气混合气）等一路气氛
12. 气氛压力： ≤0.02MPa（微正压、表压）
13. 混气系统： 1通道浮子流量计供气系，浮子流量计（0-10L/min）
14. 控制方式： 手动/自动自由切换
五、 设备采用的标准
设计和制造采用的主要标准如下：
1. GB6654-1996 压力容器的钢性选用
2. GB10067.1-88 电热设备的基本技术条件
3. GB5959.1-88 电热设备的安全
4. GB10066.1-88 电热设备的试验方法
其它有关标准参照工业炉设计手册。
六、 结构组成
本设备由炉体、炉门、加热与保温系统、真空系统、气路系统、冷却系统、气动系统、氢气燃烧系统（可选配）、温度及电气控制系统、安全系统等组成。
七、 设备结构特征
1. 炉体
炉体侧部设有真空抽气口、热电偶测温口、进出水口、电极口等。炉体上下压头的密封采用可靠的金属波纹管密封。
附属品：
1) 真空接管
2) 电极引入接管
3) 热电偶引入接管
4) 真空测量及真空指示接管
5) 冷却水接管
6) 炉腿
2. 炉门
炉门采用双层水冷结构，内外壁均为304不锈钢经精密抛光处理，内外壁之间通水冷却，炉门侧部设有进出水口等。
。
3. 加热与保温系统
炉衬采用复合炉衬，内侧耐火炉衬选用多孔氧化铝砌筑，外层选用氧化铝纤维板及硅酸铝纤维棉组成复合保温炉衬，合理的卡槽式拼装结构，能有效保证炉膛的牢固性、温度的损耗；合理的加热器对辐射排布及功率的分布都有效的保证温场的均匀度，此种结构保温效果好，炉墙使用寿命长。
加热系统由电力控制器、电极、发热体、热电偶等组成。
（1）加热功率及分布
采用单区加热控温，安装一支控制热电偶，加热炉的发热体采用钼棒，发热元件均匀布置于炉膛两侧，有效的保证了温场的均匀性提高加热系统的可靠性，安全性。
（2）测温装置
测温元件采用钨铼热电偶配合温度控制仪进行温度闭环控制，测温元件测量温度并供给温度控制器控制信号，从而调整功率调控器的输出，从而控制变压器的输出大小，以满足系统的控温需求。此外，在保温屏外侧，设有监测热电偶，当系统超温时，通过控制系统及时切断加热电源，确保设备安全。
4. 真空系统
真空系统由直联泵、扩散泵、气动高真空阀、真空变送器、真空压力表、真空放气阀、真空管路等组成，并留有充气接口。为减少炉体振动，真空管道与泵的连接采用金属波纹管，真空度由真空变送器测量。
真空阀门设掉电保护和安全联锁，如设备突然断电，真空系统的各系统阀门自动调整为关闭状态，保护真空室。
所有真空管路均采用不锈钢或碳钢电镀制造。管路连接处采用金属波纹管连接，以隔绝直联泵的震动，防止将震动传递至真空加热室系统。
5. 气路系统
气体系统主要完成运气、排气等动作。气路控制均采用安全电磁阀、手动针阀控制，采用电子式数显压力表，对炉膛压力能时时监控，当到达压力会自动关闭进气管上的电磁阀，并进行报警，使用安全性更高。气体系统增加故障时自动放气和手动放气的选择功能，解决用户特殊情况下的断电排气问题。
集成式的气路、电路控制面板，让客户操作更加方便；所有进气口全部经过短暂预热直接进入炉膛使用区域，以便保护气氛能最快、全面的接触工件（可以通氩气、氮气等惰性气体）；炉体后部有二路进气口，右侧有二路排气口（排放气体密度大于空气密度的保护气氛气体、也可作为紧急时破除真空用接口）。
本设备压力系统由气源装置（气瓶用户自备）、阀门站、控制气路、超高压管路等组成。其作用是根据工艺要求，向工作缸提供高压气体。
6. 水冷系统
系统由集成式进水组件（不锈钢管）、集成式回水组件（不锈钢管）、球阀、优质橡胶管及接头等组成。回水方式采用封闭式，在关键回路如电极上设置了水温水流量传感器，水温过高或水流量不足时及时报警并停止加热。
进水主管路上设有电接点压力表，当水压不足时提供信号给控制系统，然后由控制系统判断报警，启动备用水源系统或切断电源。设备的备用水装置由客户自备，备用水流量≥5m3/h。
水路特点：
1) 所有水路管道均采用耐高温、高压软管材质，确保不生锈；其他辅助水路管道采用高压防爆管道。确保水路安全；
2) 关键管路设置有水流量传感器和水温传感器和报警装置，水流量过低报警，水超温报警，及时发现安全隐患。进水路欠水压与加热PLC互锁，水压低时，报警并停止加热。
3) 使用方须做好备用水源及UPS电源。主电路停电可立即切换至UPS电源，给水泵供电，冷却水源循环，确保炉体安全。
7. 氢气燃烧系统（可选配）
管路再增加单向阀、安全阀等安全装置。
氢气燃烧装置安全可靠，耗氢气量小，燃烧充分，氢气燃烧手动点燃，压力阀门采用日本进口数字压力阀，可控制炉管内压力，超压报警，超压自动停止进气，泄压后自动供气，确保炉内安全，性能更稳定。
1) 管路设单向阀防止外部空气回流入炉内；
2) 并配氢气燃烧装置或直接排到室外。
8. 温度及电气控制系统
电气控制系统：全自动 PLC+触摸屏系统，可以手动、自动切换。
电源控制系统软件介绍： 有以下特点：
1) 源控制具有手动和自动两种控制方式，手动和自动都可以在触摸屏上控制，操作方便、系统稳定，具有误操作提示报警功能。
2) 温控系统：全自动 PLC+触摸屏系统，可以手动、自动切换，采用热电偶和控温仪表控制电源的输出从而控制模具的温度，触摸电脑自动记录烧结过程及历史曲线。配备 PLC 控制器（西门子/欧姆龙），具有 PID 及超温报警功能，能储存和输出记录，清晰反应炉子工作状况。
3) 控制系统软件由我公司自行开发，人机界面操作系统，画面友好，操作简单，响应速度快，可对炉内工况进行实时监测，系统稳定可靠。
4) 本设备可自动采集温度曲线、真空度曲线和烧结时间等曲线，对各个工艺参数（温度、真空度）实现动态显示，方便用户根据历史曲线分析烧结工艺。
5) 通讯接口丰富，如 RS485、LAN、USB 等，易于和其它设备 组网应用。软件控制界面形象化，能够动态显示工作流程，方便直观。
6) 控制系统上设有过流、超温及断水等分类报警功能，电器元件采用施耐德、 LG等品牌，产品品质有保证。电控柜按照西门子标准制作，所有的仪表及控制元件集中到一个电控柜内。
7) 软件免费升级。
温度的控制也可通过数显温度程序控制仪根据用户设定的工艺曲线，实行自动控制温度，并具有PID自整定功能，也可根据用户需要手动控制温度。
八、 安全保护系统
1. 电气联锁保护系统；
2. 保险丝；
3. 电热过电流保护装置。
九、 整机要求
1. 电力需求： 220/380V，三相五线制，12KVA，50Hz
2. 起重设备： ＞1.2吨
3. 压缩空气气源：
1) 耗量： ~3L/s
2) 压力： ≥0.6Mpa
4. 水源：
1) 耗量： ＞10m3/h
2) 水压： 0.15~0.3Mpa
3) 进水水温： ≤25℃
4) 水质： PH值7.0～8.5，悬浮物固体＜100mg/L，总硬度CaO＜10mg当量/L，溶解性固体＜30mg/L，电导率＜500μS/cm；及总排水管与设备的连接管路和阀门；
十、 安装、调试及验收
1. 甲方负责地基、气源、乙方电控柜的总线输入端之前的进线电缆。在所有准备工作完成后，通知乙方进行安装、调试。设备以卖方组织，买方配合的方式在买方现场安装、调试并达到买方正常使用的要求；
2. 验收工作完成后，由双方共同签署设备最终验收报告。
十一、 培训
1. 设备安装调试过程中，卖方同时对买方设备使用人员进行必要的操作和维护保养的培训。经培训，用户技术人员能够达到独立正确操作设备并能判断故障及简单维修。
2. 培训计划和内容：
|
序号 |
培训计划 |
培训时间（天） |
培训人员 |
地点 |
|
1 |
操作培训 |
1 |
工程师1人 |
验收现场 |
|
2 |
维护保养培训 |
验收现场 |
||
|
3 |
故障判断及简单维修培训 |
验收现场 |
十二、 保固期
机器全系统保固壹年。
十三、 售后
保固期内，若设备发生故障（易损件除外），我公司在2小时内给予回复，并在72小时内派员到达现场，组织维修。
长期优惠提供备品备件。
十四、 随机资料
1. 操作说明书。
2. 出厂检验报告。
3. 安装调试必需的图纸。
十五、 客户选配配件
1. 冷水机HCA-10 1台
2. 水路管道及法兰： 1套
3. 空压机HA-1 1台
4. 分子泵组/DM或/OD：1台
|
编号 |
产品型号 |
炉膛尺寸（mm） |
加热功率(kw) |
真空度(Pa) |
最高温度(℃) |
加热元件 |
适用工艺 |
外形尺寸（mm） |
|
V2GR20 |
VHSgr-20/20/30-2000 |
200x200x300 |
45 |
6.7X10-3 |
2000 |
石墨电阻 |
烧结/退火/脱脂/氢气 |
1560×1690×1850 |
|
V2GR23 |
VHSgr-20/20/30-2300 |
200x200x300 |
50 |
6.7X10-3 |
2300 |
石墨电阻 |
烧结/退火/脱脂/氢气 |
1560×1690×1850 |
|
V2MO13 |
VHSmo-20/20/30-1300 |
200x200x300 |
40 |
6.7X10-3 |
1300 |
钼带电阻 |
烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气/脱气 |
1560×1690×1850 |
|
V2MO16 |
VHSmo-20/20/30-1600 |
200x200x300 |
45 |
6.7X10-3 |
1600 |
钼带电阻 |
烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气/脱气 |
1560×1690×1850 |
|
V2W20 |
VHSw-20/20/30-2000 |
200x200x300 |
45 |
6.7X10-3 |
2000 |
钨带电阻 |
烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气 |
1560×1690×1850 |
|
V2W23 |
VHSw-20/20/30-2300 |
200x200x300 |
50 |
6.7X10-3 |
2300 |
钨带电阻 |
烧结/退火/钎焊/脱脂/氢气 |
1560×1690×1850 |
|
V2CO20 |
VHSco-20/20-2000 |
Φ200X200 |
45 |
6.7X10-3 |
2000 |
感应线圈 |
烧结/退火 |
1560×1690×1850 不含电源尺寸 |
|
V2CO23 |
VHSco-20/20-2300 |
Φ200X200 |
50 |
6.7X10-3 |
2300 |
感应线圈 |
烧结/退火 |
1560×1690×1850 不含电源尺寸 |
|
V2MS17 |
VHSms-20/20/30-1700 |
200x200x300 |
12 |
6.7X10-2 |
1700 |
硅钼棒电阻 |
氧化/烧结/退火 |
1560×1690×1850 |
|
V2MO17 |
VHSmo-20/20/30-1700 |
200x200x300 |
12 |
6.7X10-2 |
1700 |
钼棒电阻 |
还原/烧结/退火 |
1560×1690×1850 |
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